​紫外激光剥离的基本原理

浪起激光4年前122948

紫外激光剥离的基本原理是利用外延层材料与蓝宝石材料对于紫外激光具有不同的吸收效率。蓝宝石具有较高的带隙能量(9.9 eV),所以蓝宝石对于248nm的氟化氪(KrF)准分子激光(5 eV辐射能量)是透明的,而氮化镓(约3.3 eV的带隙能量)则会强烈吸收248nm激光的能量。正如图3所示,激光穿过蓝宝石到达氮化镓缓冲层,在氮化镓与蓝宝石的接触面进行激光剥离。这将产生一个局部的爆炸冲击波,使得在该处的氮化镓与蓝宝石分离。基于同样的原理,193nm的氟化氩(ArF)准分子激光可以用于分离氮化铝(AlN)与蓝宝石。具有6.3 eV带隙能量的氮化铝可以吸收6.4 eV的ArF激光辐射,而9.9 eV带隙能量的蓝宝石对于ArF准分子激光则是透明的。 
  光束均匀性和晶圆制备对于实现成功剥离都很重要。JPSA公司采用创新的光束均匀化专利技术使得准分子激光束在晶圆上可以产生最大面积达5 × 5毫米的均匀能量密度分布的平顶光束。
  正确的晶圆制备是LLO成功的关键。需要最大限度地减少在蓝宝石上高温外延层生长过程中产生的残余应力,还要保证外延层和衬底进行充分键合,以避免在剥离过程中外延片破裂。图4展示了一个典型的剥离效果。

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