光刻机的作用原理

浪起激光2020-06-16119402

芯片的制造包括沉积、光刻胶涂覆、曝光、显影、蚀刻、移植、剥离等工序,其中曝光是微芯片生产中的关键工序,ASML 正是处于半导体产业链中的曝光环节。

光刻机的作用原理有点像投影仪,首先由光刻设备投射的光源通过带有图案的掩模投射出来,经过透镜或镜子将图案聚焦在晶圆(类似于投影幕布)上。

不过投射之后形成的形状不是平面的而是立体的,通过蚀刻曝光或未受曝光的部分来形成沟槽,然后再进行沉积、蚀刻、掺杂,架构出不同材质的线路,生出基础轮廓。此工艺过程被一再重复,将数十亿计的 MOSFET 或其他晶体管建构在硅晶圆上,形成一般所称的集成电路。

光刻机的作用原理

芯片在生产过程中需要进行 20-30 次的光刻,耗时占到制造环节的 50% 左右,占芯片生产成本的 1/3,光刻环节也决定着芯片的制程和性能水平。

细数光刻机发展的这么多年,入局者们基本围绕降低 CD(曝光关键尺寸,可作为判断分辨率的依据)展开竞争。

CD=k1* ( λ /NA )

CD 值越小表明曝光形成的关键尺寸越小水平越高,各大厂商能做的也就是降低波长 λ,提高镜头的数值孔径 NA,降低综合因素 k1。

本文链接:https://www.goldlaser.cn/Read/1218.html 转载需授权!

  • 金属深雕雕刻用多少瓦的激光打标机

    金属深雕雕刻用多少瓦的激光打标机

    核心结论:对于金属深雕,通常推荐使用≥100W的光纤激光打标机,主流选择在100W到300W之间,对于工业级大批量深雕,甚至会用到500W至1000W的设备。下面为您详细分解:影...

    阅读学习2025-09-15
  • 使用脉冲激光清洗机需要注意什么?

    使用脉冲激光清洗机需要注意什么?

    适用于哪些精密零件场景?脉冲激光清洗在以下精密制造领域应用广泛:模具行业:注塑模、压铸模、橡胶模的脱模剂残留、积碳、氧化物清洗,不影响模具精度。电子行业:PCB电路板除氧化、焊盘清洗、引线框架清洗。航...

    阅读学习2025-09-14
  • 为什么脉冲激光清洗机非常适合精密零件?

    为什么脉冲激光清洗机非常适合精密零件?

    与传统清洗方法(如化学溶剂、喷砂、超声波)相比,脉冲激光清洗在精密零件应用上具有无可比拟的优势:超高精度和非接触式清洗:非接触:激光清洗不产生机械应力,不会磨损或损伤精密的基底材料。这对于薄壁件、微细...

    阅读学习2025-09-14
  • 脉冲激光清洗机出口销量怎么样?

    脉冲激光清洗机出口销量怎么样?

    脉冲激光清洗机的出口销量近年来呈现积极增长态势,尤其在2025年,中国相关企业的海外市场表现亮眼。下面是一个主要信息的梳理:方面详情来源全球市场增长趋势全球高功率脉冲光纤激光清洗机市场规模2024年约...

    阅读学习2025-09-12
  • 使用激光除锈机要做好安全防护

    使用激光除锈机要做好安全防护

    上一篇关于“激光除锈机对人有什么伤害?”的文章,提示我们在使用过程中还是有一定的风险激光除锈机如何安全防护?(至关重要)为了完全避免上述伤害,必须严格遵守以下安全规程:眼部防护:必须佩戴专门为该激光设...

    阅读学习2025-09-09
  • 激光除锈机对人有什么伤害?

    激光除锈机对人有什么伤害?

    当然有,如果操作不当,缺乏防护,激光除锈机可以对人体造成伤害。但重要的是,这些伤害完全可以通过严格的安全规范和佩戴正确的防护装备来避免。正规厂家生产的激光除锈设备本身会配备多重安全措施。以下是激光除锈...

    阅读学习2025-09-09
  • 1500瓦连续激光除锈机和200脉冲激光清洗机哪个效果好?

    1500瓦连续激光除锈机和200脉冲激光清洗机哪个效果好?

    这是一个非常专业且常见的问题。简单来说,没有绝对的“哪个更好”,只有“哪个更适合您的具体应用”。1500瓦连续激光清洗机和200瓦脉冲激光清洗机是两种完全不同技术路线的设备,它们的应用场景有显著区别。...

    阅读学习2025-09-08
  • 激光除锈机出口的挑战与考量

    激光除锈机出口的挑战与考量

    尽管前景乐观,但出口过程中也存在一些挑战:国际竞争激烈:尤其是在高端市场,需要直面与拥有技术先发优势的欧洲企业的竞争。市场教育与认知:尽管增长迅速,但激光除锈在全球除锈市场中的份额目前仍相对较小(20...

    阅读学习2025-09-07
  • 激光除锈机出口增长的驱动因素

    激光除锈机出口增长的驱动因素

    激光除锈机出口,特别是中国产品的出口增长,主要得益于:成本优势日益凸显:近年来,激光除锈机的价格呈现“跳水式”下降。例如,3000瓦的激光除锈机从2020年的21万元/台降至2025年的3.8万元/台...

    阅读学习2025-09-07
  • 激光除锈机销量快速增长

    激光除锈机销量快速增长

    激光除锈机销量快速增长,主要得益于以下几点:设备成本大幅降低:如前所述,高功率激光器实现国产化并量产,取代进口,导致设备价格“跳楼式”下降27。这使得投资回报周期缩短,越来越多的企业买得起、用得上。技...

    阅读学习2025-09-02

猜你还喜欢这些...